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我国具备太阳能电池板设备的主要分析
编辑:江苏神州新能源电力有限公司   时间:2017-04-17

太阳能电池板设备产业除后道的检测组装应用外,太阳能电池板设备最关键的工序为硅片和电池片制造。 

太阳能电池板设备包括晶体生长炉、硅棒加工和硅片切割设备。我国8英寸太阳能硅单晶炉主要生产厂西安理工大学工厂和北京京运通真空设备厂2004年销售量共计达到150台,预计今年销售量将比去年翻一番,多晶硅和非晶硅的生长设备目前正在研制中。8英寸硅棒的滚圆和切断设备已经由北京京联发数控科技有限公司批量生产。8英寸的硅片切割机也已经由中国电子科技集团公司第45研究所批量生产,而性能更先进的高效率多线切割机今年也将在上海日进机床公司问世。 

电池片制造包括制绒—清洗—扩散—刻蚀—PSG祛除—表面成膜—电极印刷(正反面)—低温烘干—背场印刷 —低温烘干—高温烧结—测试分档等共十四个步骤(电极印刷为两次)等。自2002年开始,通过和一流企业合作并引进先进的工艺技术,历经多次技术换代及升级,国产的太阳能电池片关键生产设备(用于156mm×156mm太阳能电池方片 )如制绒机、硅片清洗机、8英寸扩散炉、刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、烧结炉、丝网制刷机等相继在国内大生产线上替代了进口设备,并取得广泛应用。特别是2003年七星华创以及2004年中国电子科技集团公司第48研究所研制成功的电池片制造用最关键设备之一———热壁式生产型PECVD设备,使我国设备业已基本具备太阳能电池板设备整线供给能力。仅2004年,全国设备制造企业向太阳能电池制造企业就提供了价值约8500万元的各类太阳能电池片制造设备,比2003年几乎翻了一番。

我国太阳能电池板设备目前的技术水平如下: 

首先,在湿法腐蚀和清洗设备方面,主要是自动制绒面设备、自动清洗设备、自动PSG祛除设备,国内已经能够制造,且已经达到世界先进水平。 

其次,扩散炉已和国际中等水平相当,且性价比优势十分明显。 

第三,刻蚀机距国际先进水平差距较大,但性价比优势明显。 

四,国产PECVD的工艺结果已接近世界先进水平,这是这种设备的优势。但它的自动化程度(自动装卸片 )不如进口设备而该设备推广的瓶径主要是产量与进口平板连续式设备差距很大。 

第五,国产丝网印刷机、烘干/烧结炉的基本功能具备,但与进口产品的差距也是在自动装卸片(机械手)和自动检测手段上。 

第六,自动检测分档设备目前国内还在开发研制中。

在当前国际国内能源日趋紧张的形势下,受西方发达国家大力推广太阳能光伏发电应用并取得显著成效的鼓舞,在我国可再生资源相关法律即将生效之际,中国太阳能光伏产业发展已箭在弦上!业内专家都相信在不远的将来,我国一定会成为世界太阳能电池生产的又一重要基地。太阳能电池板设备的市场需求旺盛,前景远大,因此,太阳能电池板设备将有很大发展,并必将成为我国半导体设备产业又一个新的增长点。


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